PSI5838 – Processos Avançados de Microeletrônica

PSI/EPUSP – Prof. Dr. Antonio C. Seabra – Sala A1-46 – Tel. 11 3091 5660 – acseabra@lsi.usp.br

3° Período de 2014

o Calendário do Curso de PSI5838

o Prova PSI5838

o Grafico da 6a questão – Prova 2004 do Curso de PEE 5838

o Notas Finais 2003

o Material das Aulas

§ Aula 1: Introdução/Litografia

• Artigo: Feynman´s Talk

§ Aula 2: Litografia – Lista1

• Artigo: The Litho Limits
• Artigo: The Art of Building Small

§ Aula 3: Corrosão 1

§ Aula 4: Corrosão 2 – Lista2

• Artigo: Bosch Deep Silicon Etching
• Artigo: Polymer Thickness Effects ion Bosch Etch Profiles

§ Aula 5: Sputtering

§ Aula 6: Sequência de Fabricação

§ Aula 7: Introdução a CVD

§ Aula 8: LPCVD

§ Aula 9: PECVD

• Artigo: High-density PECVD for ICs

§ Aula 10: RTP - Lista

§ Aula 11: Trabalho

§ Aula 12: Prova