1) Manual de Utilização da Sala Limpa  (pegar Manual .doc)
    Este é um material de leitura obrigatória para todos aqueles que realizem atividades nos laboratórios da DMI-LSI, com especial ênfase para atividades na sala-limpa. Neste manual são descritos os procedimentos padrões para evitar conflitos entre usuários, regras para execução dos processos para evitar contaminações que prejudiquem não só os próprios experimentos mas também o dos companheiros e cuidados que devem ser tomados para evitar acidentes. Este material pode ser também consultado on-line.

2) Método das Quatro Pontas, Fundamentos (v. 1.0 - Jan. 2000)   (pegar Manual .pdf)
    Autor: Mauricio Massazumi Oka

    Nesta apostila, desenvolvida para o curso de Técnicas de Caracterização Aplicadas à Produção de Dispositivos de Microletrônica, apresenta-se a técnica de medida de quatro pontas de forma bastante suscinta e discutem-se algumas fontes de erro de medida que não são usualmente levadas em conta quando a medida é efetuada.

3) Elipsometria, Fundamentos (v. 1.1 - Jan. 2000)  (pegar Manual .pdf)
    Autor: Mauricio Massazumi Oka

    Esta apostila, desenvolvida para o curso de Técnicas de Caracterização Aplicadas à Produção de Dispositivos de Microletrônica, apesar de não desenvolver todas as deduções matemáticas, apresenta os resultados e discute a técnica de elipsometria baseado nestes resultados. Com isso pode-se ter uma idéia dos cálculos que são efetuados pelo software do nosso equipamento e usar este conhecimento como subsídio para melhor interpretar os resultados de medida.

4) SIMS - Operação do SIMS passo a passo (v. 2.0 - Abril 2000) (pegar Manual .pdf)
     Autor: Mauricio Massazumi Oka

     Este manual permite ao usuário ligar e desligar o equipamento de SIMS (Cameca - modelo MIQ56) mesmo sem co nhecimento prévio algum do equipamento, simplesmente seguindo passo a passo as instruções contidas no manual.

5) SIMS - Menus no Monitor do "Scanning Control" (v. 1.0 - Abril 2000) (pegar Manual .pdf)
     Autor: Mauricio Massazumi Oka

     Este manual é um complemento ao manual Operação do SIMS passo a passo e mostra como se organizam os menus de um dos módulos de controle do equipamento, o "Scanning Control".

6) História da Eletricidade (v. 1.0 - Novembro 2000) (pegar Documento .pdf)
    Autor: Mauricio Massazumi Oka

    Este documento foi criado durante a preparação de um seminário, mais como uma série de lembretes dos fatos relevantes da história da ciência que culminam com a descoberta do elétron. Está longe de ser um estudo rigoroso, de modo que podem faltar fatos importantes ou até mesmo apresentar erros grosseiros. Mas espero que preste, ao menos, para dar uma idéia inicial de como se desenvolveu o conceito da eletricidade.

7) História do Transistor (v. 1.0 - Novembro 2000) (pegar Documento .pdf)
    Autor: Mauricio Massazumi Oka

    Este documento foi criado durante a preparação de um seminário sobre a História do Transistor, mais como uma série de lembretes. Receio que seja de pouco interesse a quem não tenha uma noção prévia do assunto, mas espero que possa vir a ser um bom guia e complemento a todos aqueles que já estudaram a teoria dos dispositivos semicondutores.

7) História do CMOS (v. 1.0 - Novembro 2000) (pegar Documento .pdf)
    Autor: Mauricio Massazumi Oka

    Este documento foi um subproduto da preparação de um seminário sobre a História do Transistor, e também é um mero conjunto de lembretes. Definitivamente, está longe de ser completo, uma vez que toda a tecnologia de semicondutores começou a se diversificar muito a partir do início da década de 70, sendo muita pretensão compilar tudo em poucas páginas. Além de tudo, entender as implicações dos fatos apresentados começa a exigir um conhecimento razoável sobre os dispositivos. Mesmo assim, espero que um ou outro possa encontrar algo de interesse nesse documento.
 
 

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	(Last update: 10/11/00)