Brazilian
Conferences and Brazilian Journals (1997)
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"PECVD SiO2 sacrificial layers for fabrication
of free-standing polysilicon filaments", E. W. Simões, R. Furlan,
N. I. Morimoto, O. Bonnaud, A. N. R. da Silva e M. L. P.da Silva, Proceedings
- XII Conference of The Brazilian Microelectronics Society, 28 de julho
a 01 de agosto de 1997, artigo 42 (CD-ROM).
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"Development of an electrochemical sensor
based on silicon technology", M. B. A. Fontes, J. J. Santiago-Avilés
e R. Furlan, Proceedings - XII Conference of The Brazilian Microelectronics
Society, 28 de julho a 01 de agosto de 1997, artigo 53 (CD-ROM).
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"Study of anodic bonding between silicon and
Pyrex 7740", G. T. Caldas, E. G. Rodriguez e R. Furlan, Proceedings - XII
Conference of The Brazilian Microelectronics Society, 28 de julho a 01
de agosto de 1997, artigo 44 (CD-ROM).
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"Sinterização de contatos Al/Ti
por recozimento térmico rápido", A. E. B. Marques e R. Furlan,
Proceedings - XII Conference of The Brazilian Microelectronics Society,
28 de julho a 01 de agosto de 1997, artigo 43 (CD-ROM).
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“Study Of Influence Of “In Situ” Cleaning
Process On The Quality Of Pecvd Sio2 / LPCVD Polysilicon Interface”, A.
N. R. Da Silva, N. Morimoto, O. Bonnaud, Proceedings - XII Conference of
the Brazilian Microelectronics Society, 30 de julho a 1 de agosto 1997,
Caxambu Minas Gerais, artigo 05 (CD-ROM)
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“Deposition of Thick TEOS PECVD Silicon Oxide
Layer Applied to Integrated Optical Waveguides”, D. A. P. Bulla and N.
I. Morimoto, Proceedings - XII Conference of the Brazilian Microelectronics
Society, 30 de julho a 1 de agosto 1997, Caxambu Minas Gerais, artigo 07
(CD-ROM)
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“A New Method for Determination of the Fixed
Charge Density at the Buried Oxide/Underlying Substrate in Accumulation-Mode
P-Channel SOI MOSFETs”, J. A. Martino and M. A. Pavanello, Proceedings
- XII Conference of the Brazilian Microelectronics Society, 30 de julho
a 1 de agosto 1997, Caxambu Minas Gerais, artigo 51 (CD-ROM)
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“A New SOI MOSFET Structure to reduce the
Parasitic Bipolar Effect in SOI MOSFETs”, M. A. Pavanello and J. A. Martino,
Proceedings - XII Conference of the Brazilian Microelectronics Society,
30 de julho a 1 de agosto 1997, Caxambu Minas Gerais, artigo 52 (CD-ROM)
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“Influence of the Substrate Effect on the
Series Resistance and Effective Channel Length Extraction”, M. A. Pavanello,
A. S. Nicolett and J. A. Martino, Proceedings - XII Conference of the Brazilian
Microelectronics Society, 30 de julho a 1 de agosto 1997, Caxambu Minas
Gerais, artigo 46 (CD-ROM)
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“Components of the Leakage Current in Enhancement-Mode
SOI nMOSFETs at High Temperature”, M. Bellodi and J. A. Martino,Proceedings
- XII Conference of the Brazilian Microelectronics Society, 30 de julho
a 1 de agosto 1997, Caxambu Minas Gerais, artigo 50 (CD-ROM)
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“Influence of the Back Interface Accumulation
on the Interface Traps Density Extraction in Thin Film SOI nMOSFET”, V.
Sonnenberg e J. A. Martino, Proceedings - XII Conference of the Brazilian
Microelectronics Society, 30 de julho a 1 de agosto 1997, Caxambu Minas
Gerais, artigo 45 (CD-ROM)
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“Método Simples para Obtenção
da Variação da Carga Efetiva no Óxido de um SOI MOSFET
em Função da Radiação”, J. Bertini and J. A.
Martino , Proceedings - XII Conference of the Brazilian Microelectronics
Society, 30 de julho a 1 de agosto 1997, Caxambu Minas Gerais, artigo 06
(CD-ROM)
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“Analysis of the Series Resistance and Effective
Channel Langth Extraction of Submicron MOS Transistors Operating at High
Temperature”-, A. S. Nicolett, J. A. Martino and E. A. Gutierrez D., Proceedings
- XII Conference of the Brazilian Microelectronics Society, 30 de julho
a 1 de agosto 1997, Caxambu Minas Gerais, artigo 48 (CD-ROM)
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“Análise da Extração
da Resistência Série em Transistores SOI MOSFET de Porta Gêmea”,
P.T. Hoashi and J.A. Martino, Proceedings - XII Conference of the
Brazilian Microelectronics Society, 30 de julho a 1 de agosto 1997, Caxambu
Minas Gerais, artigo 08 (CD-ROM)
-
“Estudo da quantificação da
rugosidade da interface Si-SiO2”, M.C. Valente Lopes, N Gejuiba, S.G. dos
Santos Filho, C.M. Hasenack, XII Conference of the Brazilian Microelectronics
Society, CDROM, Artigo 89.
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“Metal and sulfate contamination mechanisms
on silicon wafer surfaces during HF-last cleanings”, S.G. dos Santos Filho
and C. M. Hasenack, XII Conference of the Brazilian Microelectronics Society,
CDROM, Artigo 39.
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“Estudo experimental da tensão mecânica
em filmes finos de cobre obtidos por evaporação ou deposição
eletroquímica espontânea”, A.I. Hashimoto and S. G. dos Santos
Filho, XII Conference of the Brazilian Microelectronics Society, CDROM,
Artigo 37.
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“Analysis of silicon surface microirregularities
by LASER light scattering”, J.C. de Souza Filho and S. G. dos Santos Filho,
XII Conference of the Brazilian Microelectronics Society, CDROM, Artigo
38.
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“Tendências mundiais”, M. L. P. Silva,
Boletim da Fundação Vanzolini, mar/abr, 18, 1997
-
“Produção limpa: uma mudança
de paradigma industrial”, E. R. F. Silva, M. L. P. Silva, Seminário:
Ciência e Desenvolvimento Sustentável, 179-182, 1997
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“PECVD deposition using TEOS and O2: the role
of the ion bombardment”, M. L. P. Silva and A. R. Cardoso, XVIII Congresso
Brasileiro de Aplicações de Vácuo na Indústria
e na Ciência, Resumos, ref. 009
-
“A mass spectrometry study of PETEOS deposition”,
M. L. P. Silva and A. N. R. Silva, XVIII Congresso Brasileiro de Aplicações
de Vácuo na Indústria e na Ciência, Resumos, ref. 043
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“Processo de deposição por PECVD:
influência dos íons”, A. R. Cardoso and M. L. P. Silva, XII
Conference of the Brazilian Microelectronics Society, CDROM, Artigo 40.
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“Análise de óxido de silício:
identificação de compostos carbônicos”, M. L. P. Silva
and A. R. Cardoso, XII Conference of the Brazilian Microelectronics Society,
CDROM, Artigo 41.
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“Estudo da reprodutibilidade do sistema PETEOS
utilizando a técnica de espectrometria de massas”, A. N. R. Silva
and M. L. P. Silva, XII Conference of the Brazilian Microelectronics Society,
CDROM, Artigo 58.
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“Electrical characterization of PECVD deposition
using TEOS and O2, A. R. Cardoso, XVIII Congresso Brasileiro de Aplicações
de Vácuo na Indústria e na Ciência, Resumos, ref. 044
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“Silicon Reactive Ion Etching for Micromachining
Applications”, R.D. Mansano, P. Verdonck, H.S. Maciel, XII Conference of
the Brazilian Microelectronics Society”, Caxambu, julho 1997, artigo 54.
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“Plasma Etching of Aluminium Using BCl3-Cl2
mixtures”, A.M. Nakazawa, P. Verdonck, XII Conference of the Brazilian
Microelectronics Society”, Caxambu, julho 1997, artigo 56.
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“Silicon Surface Roughness Induced by Reactive
Ion Etching Processes, Using a Graphite Electrode”, P. Verdonck, R.D. Mansano,
H.S. Maciel, XIIConference of the Brazilian Microelectronics Society”,
Caxambu, julho 1997, artigo 55.
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“Characteristics of silicon etching processes
in a RIE reactor modified to include a built-in radio frequency excitation
coil”, M. Massi, R.D. Mansano, H.S. Maciel, P. Verdonck, XII Conference
of the Brazilian Microelectronics Society”, Caxambu, julho 1997, artigo
57.
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“Aplicação de plasmas de baixa
freqüência em processos de corrosão de silício
e fotorresiste”, M.B. Pisani, R.D. Mansano P. Verdonck, XVIII CBRAVIC,
Petrópolis, ref. 051, julho 1997.
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“Aluminium Etching with CCl4-N2 plasmas”,
A.M. Nakazawa, P. Verdonck, Boletim técnico da Escola Politécnica
da USP, BT/PEE/9718 (1997)
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“O uso de Resistes Amplificados Quimicamente
e de Sililação em Litografia por Feixe de Elétrons”,
A.C. Seabra, P.B. Verdonck, J.W. Swart, Boletim técnico da Escola
Politécnica da USP, BT/PEE/9719 (1997)
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"Estudo da sinterização de contatos
Al/Ti por recozimento térmico rápido visando a aplicação
em circuitos integrados", Angelo Eduardo Battistini Marques e Rogério
Furlan, Boletim Técnico da Escola Politécnica da USP, BT/PEE/9716,
ISSN 1413-2206.