Algumas Áreas
de Interesse
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Mecanismos físicos e químicos
de Corrosão por Plasma (a 13,56 MHz e a 25 kHz);
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Processos e dispositivos de microeletrônica
e MEMS: simulação, fabricação e caracterização
física/química/elétrica;
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Instrumentação de aquisição,
tratamento e análise de dados aplicada a processos de microeletrônica,
em especial: Espectrofotometria, Sondas de Langmuir, Interferometria a
Laser;
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Medidas elétricas de RF em ambientes
de alta freqüência (VHF) e alta potência (10 W - 1 kW);
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Caracterização de filmes
finos por perfilometria (espessura e rugosidade superficial) e por elipsometria
(espessura e índice de refração de filmes finos transparantes
ou semi-transparentes);
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Simulação, análise
numérica e linguagens de programação, em especial:
C, C++, HP-VEE, Labview, MatLab e PsPICE.
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